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我国精密光学创造亚纳米中国精度奇迹

2019/08/15 来源:庆阳信息港

导读

1纳米是一根头发丝的8万分之一,而小于1纳米则被称为亚纳米 这是国防科大精密工程创新团队在超精密零件加工中创造的 中国精度 ,有力支撑了 极

  1纳米是一根头发丝的8万分之一,而小于1纳米则被称为亚纳米 这是国防科大精密工程创新团队在超精密零件加工中创造的 中国精度 ,有力支撑了 极大规模集成电路制造装备与成套工艺 等3个国家重大科技专项创新突破,3年来为国家创造直接经济效益2亿多元。近日,该校研制两种超精抛光装备通过国家重大科技专项验收。

  超精密加工是以高精度为目标的先进制造技术,纳米精度被誉为超精密加工技术皇冠上的明珠,西方发达国家将其视为战略资源,严格限制出口。面对我国光学零件制造水平的窘境,国防科大精密工程创新团队在李圣怡教授率领下,跳过一、二代光学零件制造加工技术,直接瞄准基于可控柔体制造的第三代光学加工方法开展攻关,在国内首次研制出拥有自主知识产权的磁流变、离子束两种超精抛光装备,创造了我国光学零件加工亚纳米的 中国精度 奇迹,使我国光学自动化加工技术及工艺一跃进入世界先进水平,成为继美、德之后第三个掌握高精度光学零件制造加工技术的国家,也是目前世界上同时具有磁流变和离子束抛光装备研发能力的国家。

  近3年来,该团队与中科院、中国航天科技集团、中国航空工业集团等合作,推动我国空间光学、高端装备制造发展,自主研制出两大类7个型号的磁流变和离子束抛光机床,为 极大规模集成电路制造装备与成套工艺 高分辨率对地观测系统 等3个国家重大科技专项提供技术保障和装备支撑,解决了一系列制约其创新发展的技术难题。团队先后获得科技部重大科技专项颁发的 突出贡献奖 和 突出成果奖 。

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